XRF熒光光譜儀器是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，臺式XRF熒光光譜儀器可分為波長色散和能量色散兩種基本類型。波長色散XRF熒光光譜儀器又有順序型（單道)、同時型（多道）和復合型（單道、多道）之分。

       自1987年以來，國內相繼發表了幾篇有關X射線熒光光譜儀的綜述，可就目前常用商品X射線熒光光譜儀的進展、性能及發展趨勢作一簡要評述。

       近年來，國外廠家紛紛推出新型X射線熒光光譜儀，這些儀器在性能和軟件方面有許多實質性的進展，其特點是體積小型化，操作自動化和智能化，分析結果準確度提高，測定元素范圍更廣等。X射線熒光光譜儀整體性能的提高取決于各部件性能的改進。下面簡要介紹近年來商品儀器中一些主要部件的改進。

XRF熒光光譜儀器的進展及發展趨勢

XRF熒光光譜儀器發展趨勢

1.一機多用

       為了提高工作效率，節省時間，降低分析成本，新一代XRF熒光光譜儀器正朝著一機多用方向發展。如XRF1700，不但可作常規大面積樣品分析，還可在直徑1mm或3mm的微區進行高靈敏度分析。許多大型X熒光光譜儀帶有測定薄膜厚度的軟件，可以同時測量薄膜厚度及分析薄膜成分。

2.小型化、專用化

       由于現場分析和專用分析的需要，許多廠家推出了小型便攜式X射線熒光光譜儀。

3，多功能樣品室

       在刑偵、海關、商檢、地質和新材料等領域會遇到不同形狀和大小的樣品，而且在分析檢測時不允許破壞樣品，這就需要多功能樣品室。如創想公司生產的EDX-6000熒光光譜儀，其樣品室可測不同形狀的樣品，大如礦石，小如頭發絲等。

4。高度自動化

       新一代的X熒光光譜儀普遍采用大規模集成電路和計算機，在豐富的應用軟件支持下，諧儀操作、參數選擇和數據處理均通過微機和計算機進行;在編好程序的基礎上，能在無人操作的情況下自動對試樣進行分析，因而可以用于在線、現場和流程分析。

       XRF熒光光譜儀器隨著分光、探測系統及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發展?？梢灶A料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進XRF熒光光譜儀器的更新發展。